Институт физики Дагестанского научного центра Российской Академии Наук (RU)
Реферат
Предложен способ синтеза керамики оксида цинка, предназначенной для использования в качестве керамических мишеней для магнетронного, электронно-лучевого и других методов нанесения прозрачных проводящих пленок. Спекание спрессованной смеси порошка оксида цинка с легирующими добавками, по крайней мере на первом этапе, производят при избыточном парциальном давлении цинка над парциальным давлением кислорода. Указанные условия достигаются, в частности, при осуществлении обжига в замкнутом объеме в присутствии металлического цинка, в замкнутом объеме в присутствии геттера кислорода, а также при обжиге в термостойких газонепроницаемых накладках как в вакууме, так и в атмосферном воздухе, или при обжиге в накладках с алюминиевой прокладкой. Первый этап обжига проводят при температуре не менее 900°С в течение не менее 1 часа. Предлагаемый способ дает возможность получать керамику на основе оксида цинка с достижением теоретически возможных плотностей и с высокой однородностью, что обеспечивает высокое качество слоев, наносимых из керамических мишеней. 11 з.п. ф-лы.
Поиск патентов
Получить полное описание патента