РАСПЫЛЯЕМАЯ МИШЕНЬ НА ОСНОВЕ ОКСИДА ГАЛЛИЯ - ОКСИДА ЦИНКА, СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ТОНКОЙ ПРОЗРАЧНОЙ ПРОВОДЯЩЕЙ ПЛЕНКИ И ТОНКАЯ ПРОЗРАЧНАЯ ПРОВОДЯЩАЯ ПЛЕНКА
Изобретение относится к распыляемой мишени для получения тонкой прозрачной проводящей пленки. Распыляемая спеченная мишень на основе оксида галлия-оксида цинка содержит 0,002-0,05 мас.% оксида алюминия и имеет плотность после спекания 5,55 г/см3 или выше. В частных случаях осуществления изобретения распыляемая мишень содержит 0,1-10 мас.% оксида галлия, имеет удельное сопротивление 3,0 мОм·см или менее. Способ формирования тонкой прозрачной проводящей пленки на основе оксида галлия-оксида цинка, содержащей 0,002-0,05 мас.% оксида алюминия на подложке, включает распыление упомянутой спеченной мишени. Получается мишень с увеличенной после спекания плотностью, которая предотвращает образование наростов в процессе распылительного осаждения, а также подавляется возникновение аномального электрического разряда и частиц. 3 н. и 5 з.п. ф-лы, 3 ил., 3 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента