FERNANDEZ J.F. et al. Reaction kinetics in the BaTiO3 synthsis: influence of the TiO2 crystalline structure and morphology. Elsevier Science Publishers B.V., 1991, p.1973-1982. HENNINGS D.F.K. et al. Solid-State Preparation of BaTiO3-Based Dielectrics, using Ultrafine Raw Materials. - J. Am. Ceram. Soc., 2001,vol.84, no.12, p.2777-2782. JP 6316414 A, 15.11.1994. RU 99128087 A, 10.11.2001. EP 1415955 A1, 06.05.2004. EP 0250085 A2, 23.12.1987. RU 2105390 C1, 20.02.1998. RU 2032961 C1, 10.04.1995. EP 0618597 A1, 05.10.1994.
Изобретение может быть использовано при получении высокодисперсных щелочноземельных титанатов, пригодных для изготовления микроэлектронных компонентов. Способ получения щелочноземельных титанатов включает взаимодействие соединений щелочноземельных металлов с частицами двуокиси титана в твердофазной реакции при температуре ниже 700°С. Частицы двуокиси титана имеют удельную поверхность (BET) свыше 50 м2/г и содержат менее 1,5 вес.%, предпочтительно менее 0,3 вес.%, особенно предпочтительно менее 0,08 вес.% сульфата относительно TiO2. Частицы используемой двуокиси титана могут содержать менее 1000 частиц на миллион хлорида и менее 1000 частиц на миллион углерода. Полученный щелочноземельный титанат имеет удельную поверхность (BET), равную 5-100 м2/г, и не содержит гидроксильных групп, встроенных в кристаллическую решетку. Удельная поверхность (BET) неразмолотого образца щелочноземельного титаната после кальцинирования составляет 5-50, предпочтительно 15-40 м2/г. Предложены порошкообразная композиция для получения щелочноземельного титаната, микроэлектронный компонент и способ его получения. Изобретение позволяет получить высокодисперсные, высокочистые щелочноземельные титанаты. 8 н. и 34 з.п. ф-лы, 5 ил.