СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ СОДЕРЖАЩИХ ЛЕГИРУЮЩИЕ ПРИМЕСИ ПОКРЫТИЙ ИЗ ОКСИДА ЦИНКА, ИМЕЮЩИХ НИЗКОЕ УДЕЛЬНОЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ, И ИЗДЕЛИЕ, ИЗГОТАВЛИВАЕМОЕ ЭТИМ СПОСОБОМ
ADACHI К. et al. ZnO Films deposited by APCVD, Proceedings of the photovoltaic specialists conference. Las-Vegas, 7-11 oct. 1991. p.1385-1386. CHOPRA K.L. et al. Transparent conductors, A status review, Electronics and optics, Thin solid films, 102, 1983, c.7, 8. US 4751149 A, 14.06.1988. WO 02/46242 A1, 13.06.2002. RU 2102347 C1, 20.01.1998.
Имя заявителя:
ПИЛКИНГТОН ГРУП ЛИМИТЕД (GB), АРКЕМА, ИНК. (US)
Изобретатели:
АБРАМС Майкл Б. (US) ГУТЬЕРРЕС Гильермо Бенито (GB) КОРОТКОВ Роман И. (US) САНДЕРСОН Кевин Д. (GB) СИЛВЕРМАН Гэри С. (US) СМИТ Райан (US) СТРИКЕР Джеффери Л. (US) Е Лян (GB)
Патентообладатели:
ПИЛКИНГТОН ГРУП ЛИМИТЕД (GB) АРКЕМА, ИНК. (US)
Приоритетные данные:
29.08.2006 US 60/840,915
Реферат
Изобретение относится к способу нанесения покрытий из оксида цинка с легирующими примесями, имеющих низкое удельное сопротивление. Подготавливают горячую стеклянную основу с поверхностью, на которую наносится покрытие, причем эта поверхность имеет температуру по меньшей мере 400°С. Стеклянная основа находится при атмосферном давлении. В смесительной камере образуют газовую смесь исходных веществ, включающую цинксодержащее соединение, воду и соединение, содержащее алюминий или галлий. На горячую поверхность стеклянной основы в процессе ее перемещения мимо смесительной камеры подают указанную газовую смесь исходных веществ, при этом со скоростью осаждения более 5 нм/с образуется покрытие из оксида цинка, содержащее в качестве легирующих примесей алюминий или галлий. Кроме алюминия или галлия в качестве легирующих примесей могут быть использованы бор, индий и таллий. Технический результат изобретения - нанесение пленки оксида цинка, легированного галлием или алюминием путем химического осаждения из паровой фазы при атмосферном давлении, в процессе изготовления флоат-стекла при использовании недорогостоящих исходных компонентов и обеспечении низкого удельного сопротивления покрытия. 5 н. и 12 з.п. ф-лы, 12 пр., 2 табл., 4 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента