DOTSENKO A.V. et al. Physics and chemistry of photochromic glasses. CRC Press LLC, 1998, 190 p. RU 2279400 С1, 10.07.2006. RU 2325417 C1, 27.05.2008. US 6347175 B1, 12.02.2002. US 2005255236 A1, 17.11.2005.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики" (RU)
Изобретатели:
Никоноров Николай Валентинович (RU) Цехомский Виктор Алексеевич (RU) Сидоров Александр Иванович (RU) Нащекин Алексей Викторович (RU) Усов Олег Алексеевич (RU) Подсвиров Олег Алексеевич (RU) Поплевкин Сергей Владимирович (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики" (RU)
Реферат
Формирование металлических нанокластеров в стекле применяется в интегральной оптике для создания матриц микролинз, плазменных волноводов, оптических переключателей, химических и биосенсоров на основе плазменных наноструктур и метаматериалов. Способ позволяет получать композитные слои с нанокластерами серебра или меди в тонких приповерхностных слоях стекол. Технический результат изобретения - обеспечение повышения точности и технологичности изготовления композитных слоев заданной геометрии, варьирования глубины залегания композитного слоя, толщины и концентрации металлических нанокластеров в нем, пространственное разрешение не хуже 10 нм. Поверхность стекла, содержащего ионы серебра или меди, облучают электронами с энергией 2-50 кэВ и дозой 2-20 мК/см2, затем стекло отжигают при температуре 400-600°С в течение 2-10 часов. 2 ил.