|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ НИТРИДА КРЕМНИЯ НА СТЕКЛЯННУЮ, В ТОМ ЧИСЛЕ КВАРЦЕВУЮ ПОВЕРХНОСТЬ |  |
Номер публикации патента: 2121985 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C03C017/22 | | Аналоги изобретения: | Голод И.А. и др. Нитрид кремния, синтезированный в реакторе пониженного давления из тетрахлорида кремния и аммиака - осаждение, свойства, использование. Обзоры по электронной технике. Сер. 2, Полупроводниковые приборы. Вып. 1. - М.: ЦНИИ Электроника, 1988, с.44. Андриевский Р.А. и др. Нитрид кремния и материалы на его основе. - М.: Металлургия, 1984, с. 84. SU 1806109 A3, 30.03.93. DE 4324576 C1, 26.01.95. GB 2141444 A, 19.12.84. |
| Имя заявителя: | Научно-производственное объединение машиностроения | | Изобретатели: | Бовбель Е.В.
Вальднер В.О.
Епифановский И.С.
Заболотный В.Т.
Рудник С.Д.
Старостин Е.Е.
Терешин С.А.
Ширяев А.В. | | Патентообладатели: | Научно-производственное объединение машиностроения |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии нанесения покрытий из нитрида кремния на стеклянную, в том числе кварцевую поверхность. Технический результат - совдание технологии нанесения беспористого антиадгезионного покрытия на основе нитрида кремния на поверхности тиглей. Покрытие предотвращает растворение жидкого кремния в теле тигля, которое приводит к его разрушению вследствие различия коэффициентов термического расширения. Покрытие наносится посредством термического напыления кремния в вакуумной камере в атмосфере азота с давлением 10-5 Торр, при одновременной стимуляции синтеза нитрида кремния облучением осаждаемого слоя низкоэнергетическими ионами азота с энергией не более 10 кэ/В, плотностью ионного тока до 50 мкА/см2 и температуре подложки до 700 К.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента