|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ МЕТАЛЛОСОДЕРЖАЩИХ ПОКРЫТИЙ НА КРУПНОРАЗМЕРНЫЕ ПОДЛОЖКИ В ВАКУУМЕ И УСТАНОВКА ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2062818 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/34 C03C017/06 | | Аналоги изобретения: | 1. Отчет о НИР, № гос. регистрации 016 50072107, Калинин, КПИ, 1985, с.26-28. 2. Авторское свидетельство СССР № 159005, кл. С 03 В 17/06, 1963. |
| Имя заявителя: | Егоров Юрий Иванович | | Изобретатели: | Амелин А.Н.
Егоров Ю.И.
Коляскин А.В.
Остапенко В.В. | | Патентообладатели: | Егоров Юрий Иванович |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к оптическому приборостроению, лазерной технике, электронной и стекольной промышленности. Сущность изобретения: для получения покрытий на крупноразмерных подложках в известном способе, включающем очистку подложки ионами инертного газа и нанесение покрытия при одновременной бомбардировке подложки пучком ионов, пучок ионов получают в ускорителе с замкнутым дрейфом, направляют на подложку под углом 15-45<198> к поверхности навстречу движущейся подложке при давлении (1,3-5,3)<195>10-2 Па и энергии ионов 50-150 эВ и начинают нанесение покрытия до окончания очистки. Вакуумная установка, работающая по данному способу, содержит, по крайней мере, два ускорителя с замкнутым дрейфом и генератор плазмы наносимого металла в виде трубчатого катода и охватывающего его спиралеобразного анода. 2 с.п. ф-лы, 3 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента