|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ТРАВИЛЬНЫЙ РАСТВОР |  |
Номер публикации патента: 2119462 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C03C015/00 | | Аналоги изобретения: | SU 1219544, 15.10.86. SU 844597, 07.07.81. SU 1470692, 07.04.89. RU 2033982, 30.04.95. RU 2051869, 10.01.96. SU 1328364, 15.10.87. |
| Имя заявителя: | Новочеркасский государственный технический университет | | Изобретатели: | Великанова Л.Н.
Хентов В.Я.
Семченко В.В.
Семченко В.Д.
Таланов В.М. | | Патентообладатели: | Новочеркасский государственный технический университет |
Реферат | |
Предлагаемый раствор целесообразно использовать в оптико-механической и электронной промышленности. Травильный раствор используют для удаления тонкопленочных покрытий германий-моноокись кремния с поверхности арсенидов индия и галлия. Состав содержит бифторид аммония, воду, нитрат хрома (III) и диметил-формамид при следующем соотношении компонентов, мас.%: бифторид аммония 12 - 16, нитра хрома (III) 12 - 16, органический растворитель 6 - 10, вода - остальное. Изобретение позволяет сохранить высокое качество полированной поверхности арсенидов индия и галлия при удалении с них тонкопленочных покрытий на основе веществ германий-моноокись кремния, при увеличении скорости процесса.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента