Блинов Леонид Михайлович (RU), Герасименко Александр Павлович (RU), Гуляев Юрий Васильевич (RU)
Изобретатели:
Блинов Леонид Михайлович (RU) Герасименко Александр Павлович (RU) Гуляев Юрий Васильевич (RU)
Патентообладатели:
Блинов Леонид Михайлович (RU) Герасименко Александр Павлович (RU) Гуляев Юрий Васильевич (RU)
Реферат
Изобретение относится к изготовлению кварцевых заготовок одномодовых волоконных световодов для волоконно-оптических линий связи, создания волоконных лазеров и усилителей, различных волоконно-оптических датчиков. Газофазным осаждением в СВЧ плазме пониженного давления на внутреннюю поверхность толстостенной кварцевой или фторсиликатной опорной трубы с толщиной стенки 8-10 и более мм осаждают только сердцевину заготовки. Осаждение проводят в СВЧ плазме пониженного давления в диапазоне 1-30 Торр, создаваемой комбинированным СВЧ плазмотроном резонаторного типа на виде колебаний ТМ010 и ТЕ111 с одновременным совмещением резонансных частот, но с различным распределением электромагнитных полей. СВЧ плазмотрон выполнен в виде СВЧ резонаторного устройства на виде колебаний ТМ010 и ТЕ111 с одновременным совмещением резонансных частот, но различным распределением электромагнитных полей. Технический результат состоит в повышении производительности процесса изготовления заготовок ОВС и снижении в целом стоимости производства кварцевых одномодовых волоконных световодов. 3 н. и 5 з.п. ф-лы, 3 ил.