На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОУСТРОЙСТВ ИЗ ПЛАСТИЧЕСКИ ДЕФОРМИРУЕМЫХ МАТЕРИАЛОВ | |
Номер публикации патента: 2085523 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | C03B037/022 | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 1385481, кл. C 03 B 37/22, 1989. Патент США N 4127398, кл. 65-4.A, 1987. Патент США N 5173097, кл. 63-3.15, 1992. |
Имя заявителя: | Белоглазов Валентин Иванович | Изобретатели: | Белоглазов Валентин Иванович Суховеев Сергей Петрович | Патентообладатели: | Белоглазов Валентин Иванович Суховеев Сергей Петрови |
Реферат | |
Изобретение относится к области микромеханики и может быть использовано для изготовления изделий из пластически деформируемых материалов, например, стекла с габаритными размерами до 5 мкм в поперечном сечении. Способ изготовления микроустройств из пластически деформируемых материалов включает формирование заготовки из нерастворимого тела, растворимой оболочки и системы проводников электрического тока, размещенной внутри тела. Спекание заготовки, вытягивание ее с сохранением геометрического подобия профиля поперечного сечения, разрезание вытянутой части на куски, обработку торцевых поверхностей кусков до получения заданной геометрической форму микроустройства, изготовление на этих поверхностях пленочных покрытий с функциональными слоями, которые определенным образом соединяют с электрическими проводами, образуя электрическую систему микроустройства. Систему проводников образуют в виде капилляров из материала, пластически деформируемого одновременно с деформированием заготовки. При этом капилляры могут быть частично или полностью заполнены материалом, проводящим электрический ток. 3 з. п. ф-лы, 9 ил.
|