RU 2024441 C1, 15.12.1994. RU 2238918 C2, 27.10.2004. RU 2206528 C2, 20.06.2003. JP 10263865 A, 06.10.1998. US 2008053969 A, 06.03.2008.
Имя заявителя:
Кондратенко Владимир Степанович (RU)
Изобретатели:
Кондратенко Владимир Степанович (RU) Наумов Александр Сергеевич (RU)
Патентообладатели:
Кондратенко Владимир Степанович (RU)
Реферат
Изобретение направлено на повышение эффективности резки приборных пластин на кристаллы по пересекающимся линиям за счет использования метода лазерного управляемого термораскалывания. Способ резки приборных пластин на кристаллы включает нанесение локального надреза на краю заготовки, нагрев линии реза лазерным эллиптическим пучком и последующее охлаждение зоны нагрева с помощью хладагента при относительном перемещении пластины и лазерного пучка с хладагентом. Способ дополнительно включает, по меньшей мере, в одном из двух направлений резки нанесение надреза по всей длине каждого реза или, по меньшей мере, в местах пересечения с линиями реза во втором направлении, при этом надрез по всей длине реза осуществляют до начала резки в этом направлении. 7 з.п. ф-лы, 12 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента