SU 169218 A1, 11.03.1965. SU 361988 A1, 13.12.1972. RU 2070167 C1, 10.12.1996. SU 1281824 A2, 07.01.1987. US 4406680 A, 27.09.1983.
Имя заявителя:
Пивин Иван Федорович (RU)
Изобретатели:
Пивин Иван Федорович (RU)
Патентообладатели:
Пивин Иван Федорович (RU)
Реферат
Изобретение относится к устройству для напыления диоксида кремния при изготовлении тиглей из особо чистого кварцевого стекла с малым содержанием микропримесей. Технический результат предлагаемого изобретения является увеличение количества осажденного на подложке синтезированного диоксида кремния с получением равномерной плотности напыленного тигля по его объему, уменьшение примесей в последнем. Реактор преимущественно для напыления диоксида кремния при изготовлении тиглей из особо чистого кварцевого стекла с малым содержанием микропримесей путем высокотемпературного гидролиза тетрахлорида кремния в присутствии мономолекулярной воды в пламени, содержащий корпус с камерой напыления, отходящий от него аэродинамический канал отсоса продуктов парофазного гидролиза тетрахлорида кремния в пламени, шток с приводом ее вращения, на котором установлена оправка, и горелку для напыления диоксида кремния. На оправку устанавлена графитовая подложка, а шток выполнен в виде цилиндрической обечайки с диаметром, не превышающим диаметр подложки. Оправка для установки графитовой подложки имеет вид полой каплеобразной емкости, оболочка которой состоит из теплопроводного материала, расположенной соосно продольной оси штока, причем внутри емкости установлен трубопровод с возможностью подачи охлаждающей жидкости под давлением. 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента