Научно-инженерный центр Академии Инженерных Наук имени А.М. Прохорова (RU)
Изобретатели:
Мещанов Валерий Петрович (RU) Сердобинцев Алексей Александрович (RU) Веселов Александр Георгиевич (RU) Попова Наталья Федоровна (RU) Кирясова Ольга Александровна (RU)
Патентообладатели:
Научно-инженерный центр Академии Инженерных Наук имени А.М. Прохорова (RU)
Реферат
Изобретение может быть использовано в медицине, в компонентах оболочки микрокапсул для прецизионной доставки лекарств. В магнетронной распылительной системе на постоянном токе распыляют цинковую мишень, выступающую в роли катода, в магнитном поле, обеспечивающем попадание атомов цинка из зоны распыления в восходящий плазменный поток. Для формирования потока вертикальная составляющая индукции магнитного поля на внешнем крае зоны распыления мишени превышает индукцию магнитного поля по внутреннему краю зоны распыления мишени не менее чем на 10%. Кольцевой анод располагают над металлической мишенью. Систему анод-катод размещают в вакуумной камере в атмосфере рабочего газа, представляющего собой кислород или аргон-кислородную смесь, в которой соотношение парциальных давлений аргона и кислорода составляет от 50%:50% до 1%:99%. Величина горизонтальной составляющей магнитного поля над зоной распыления мишени составляет не менее 500 Э. Давление рабочей смеси выбирают не превышающим 10-1 Па. Напряжение на аноде по отношению к мишени не менее 400 В. Изобретение позволяет получать наноразмерные кристаллические частицы оксида цинка при активации реакции и ее протекании в одной и той же области плазменного потока, что приводит к снижению энергопотребления и исключению необходимости в быстром охлаждении. 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента