JP 6144835 A, 24.05.1994. WO 02062724 A2, 15.08.2002. SU 509553 A1, 05.04.1976. US 2002135971 A1, 26.09.2002. JP 1009818 A, 13.01.1989. JP 1009819 A, 13.01.1989. OLEDZKA M. et al. Influence of Precursor on Microstructure and Phase Composition of Epitaxial Hydrothermal PbZr0.7Ti0.3O3 Films, Chem. Mater., 2003, Vol.15, No.5, p.1090-1098.
Изобретение может быть использовано в микроэлектронной промышленности. Для получения титанатов циркония соединения циркония приводят во взаимодействие с частицами диоксида титана, имеющими удельную площадь поверхности по БЭТ более 200 м2/г. Для получения титанатов свинца-циркония осуществляют взаимодействие соединений свинца и циркония с частицами диоксида титана с удельной площадью поверхности по БЭТ более 200 м2/г. Содержание галогенидов в используемых частицах диоксида титана менее 1000 ч/млн в расчете на TiO2. Титанаты свинца-циркония измельчают и затем прессуют с образованием неспеченных формовок или перерабатывают в пленку, после чего спекают с получением микроэлектронной детали. Изобретение позволяет получить тонкодисперсные, хорошо спекаемые титанаты циркония и титанаты свинца-циркония. 10 н. и 37 з.п. ф-лы.