|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ГЛУБОКОЙ ОЧИСТКИ АММИАКА |  |
Номер публикации патента: 2327640 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C01C001/02 C01C001/12 | | Аналоги изобретения: | US 5846386 А, 08.12.1998. SU 1650579 A1, 23.05.1991. SU 1650575 A1, 23.05.1991. SU 184253 A, 05.09.1966. US 6015477 A, 18.01.2000. US 7001490 B2, 21.02.2006. |
| Имя заявителя: | Общество с ограниченной ответственностью "Фирма "ХОРСТ" (RU) | | Изобретатели: | Воротынцев Владимир Михайлович (RU)
Малышев Владимир Михайлович (RU)
Мочалов Георгий Михайлович (RU)
Тарабуров Павел Григорьевич (RU)
Воротынцев Илья Владимирович (RU) | | Патентообладатели: | Общество с ограниченной ответственностью "Фирма "ХОРСТ" (RU) |
Реферат | |
Заявляемое изобретение относится к способам очистки веществ и касается разработки способа глубокой очистки аммиака, используемого в технологии получения эпитаксиальных структур нитридов кремния, галлия, алюминия и других материалов, применяемых в опто- и микроэлектронике. Способ включает фильтрацию газообразного аммиака при температуре ниже 0°С, при давлении ниже 200 мм рт.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента