RU 2371388 C2, 27.10.2009. KR 1020100091573 A, 19.08.2010. US 5716590 A, 10.02.1998.
Имя заявителя:
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева" (НГТУ) (RU)
Изобретатели:
Воротынцев Андрей Владимирович (RU) Боровков Вадим Александрович (RU) Воротынцев Владимир Михайлович (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева" (НГТУ) (RU)
Реферат
Изобретение относится к получению кремнийсодержащих материалов, которые используются в процессах получения полупроводникового кремния. Способ включает каталитическое гидрирование тетрахлорида кремния с последующим разделением продуктов реакции, при этом в качестве катализатора используют хлориды переходных металлов или их смеси, гидрирование ведут при температуре не ниже 200°C, предпочтительно при 300-350°C, а образующиеся продукты реакции охлаждают до температуры не выше 100°C. Способ является энергосберегающим за счет гидрирования тетрахлорида кремния при низкой температуре с достаточно высокой конверсией по тетрахлориду кремния порядка 75-90%. При проведении процесса из смеси продуктов удаляют образующиеся хлорсиланы, а непрореагировавшие тетрахлорид кремния и водород возвращают в технологический цикл, что позволяет доводить конверсию тетрахлорида кремния до 100%. 2 з.п. ф-лы, 9 пр.
Поиск патентов
Получить полное описание патента