GOKHALE S.D., DRAKE J.E., JOLLY W.L. SYNTHESIS OF THE HIGHER SILANES AND GERMANES. JOURNAL OF INORGANIC AND NUCLEAR CHEMISTRY, 1965, т.27, с.1911-1916. SPANIER E.J., MACDIARMID A.G. THE CONVERSION OF SILANE TO HIGHER SILANES IN A SILENT ELECTRIC DISCHARGE. INORGANIC CHEMISTRY, 1962, т.1, 2, c.432-433. US 4568437 A, 04.12.1986. WO 2006/013129 A1, 09.02.2006. SU 987916 A1, 20.04.2000.
Изобретение относится к способу получения димерных и/или тримерных соединений кремния, в частности галогенсодержащих соединений кремния. Способ включает две стадии. На стадии процесса а) происходит обработка нетепловой плазмой соответствующего соединения кремния, в случае необходимости в присутствии одного или нескольких соединений кремния, представленных, в частности, соединениями, содержащими водород. За стадией процесса а) на стадии процесса б) получают в чистом виде одно или несколько соединений кремния из образующейся фазы, в частности, проводят дистиллятивную переработку для того, чтобы выделить образовавшийся продукт реакции, представляющий собой соединение кремния. Соединение кремния может быть выделено в состоянии высокой чистоты. Изобретение включает устройство для реализации способа, а также применение полученных соединений кремния. Изобретение обеспечивает экономичный способ получения димерных и/или тримерных соединений кремния в промышленном масштабе. 3 н. и 17 з.п. ф-лы, 1 пр., 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента