RU 2159213 С2, 20.11.2000. ЕР 855365 А1, 29.07.1998. ЕР 1254861 В1, 30.01.2008.
Имя заявителя:
Общество c ограниченной ответственностью "Энергия" (RU)
Изобретатели:
Карабанов Сергей Михайлович (RU) Джхунян Валерий Леонидович (RU) Ясевич Виктор Игоревич (RU)
Патентообладатели:
Общество c ограниченной ответственностью "Энергия" (RU)
Реферат
Изобретение относится к технологии очистки кремния с помощью плазменной технологии при промышленном производстве кремния для фотоэлектронной промышленности, и в том числе для изготовления солнечных батарей. Способ включает разогрев в тигле кремния до получения расплава и обработку расплава плазменным факелом, направленным под острым углом к поверхности, содержащим инертный газ и пары воды, при этом разогрев и плавление неочищенного кремния производят в кварцевом тигле цилиндрической формы в вакууме с помощью графитового нагревателя, затем расплав кремния обрабатывают с помощью системы из трех двухрежимных плазмотронов с изолированными от корпуса анодами и системой подачи воды в канал анода, сперва плазмой сухого аргона при постоянном токе 50-80 А, затем плазмой увлажненного аргона при переменном токе 100-200 А, после чего формируют слиток поликристаллического кремния путем медленного охлаждения расплава в кварцевом тигле. Технический результат направлен на получение из металлургического кремния чистотой 98-99.9% слитка поликристаллического кремния степени чистоты 99.9999%, при содержании фосфора не более 0.1 ppmw, бора от 0.1 до 1 ppmw, пригодного для изготовления фотопреобразователей промышленным способом. 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента