US 4340574 A, 20.07.1982. RU 2152902 C2, 20.07.2000. RU 2313485 C2, 27.12.2007. RU 54933 U1, 27.07.2006. DE 10017168 A1, 11.10.2001.
Имя заявителя:
ФГУП "Российский научный центр "Прикладная химия" (RU)
Изобретатели:
Барабанов Валерий Георгиевич (RU) Трукшин Игорь Георгиевич (RU) Мухортов Дмитрий Анатольевич (RU) Петров Валентин Борисович (RU) Чурбанов Михаил Федорович (RU) Гусев Анатолий Владимирович (RU) Котенко Андрей Васильевич (RU) Котенко Дмитрий Васильевич (RU)
Патентообладатели:
ФГУП "Российский научный центр "Прикладная химия" (RU)
Реферат
Изобретение относится к технологии неорганических соединений. Способ получения высокочистого моносилана и тетрахлорида кремния проводят двухстадийным диспропорционированием хлорсиланов на анионообменной смоле. На первой стадии проводят диспропорционирование трихлорсилана, предварительно очищенного от тетрахлорида кремния в первой ректификационной колонне, с получением преимущественно дихлорсилана и тетрахлорида кремния. Выводят тетрахлорид кремния в качестве товарного продукта из куба первой ректификационной колонны и отделяют дихлорсилан во второй ректификационной колонне от непрореагировавшего трихлорсилана и тетрахлорида кремния. На второй стадии проводят диспропорционирование дихлорсилана, с отделением моносилана в третьей ректификационной колонне от хлорсиланов. Причем в первый реактор подают только дистиллят из первой ректификационной колонны, не содержащий тетрахлорид кремния. После выделения моносилана проводят его очистку от низкокипящих примесей в отдувочной ректификационной колонне. Затем очистку от соединений с температурой кипения выше, чем у моносилана, но ниже, чем у монохлорсилана, в пятой ректификационной колонне. Обеспечивается высокая степень конверсии трихлорсилана и получение продукта с содержанием основного вещества не менее 99,99%. 1 з.п. ф-лы, 1 ил., 2 пр.
Поиск патентов
Получить полное описание патента