US 4062714 А, 13.12.1977. RU 2002111248 А, 10.11.2003. US 3293950 А, 27.12.1966. US 6221155 B1, 24.04.2001.
Имя заявителя:
ДжиТиЭйТи Корпорейшн (US)
Изобретатели:
ВАН Юэпенг (US) ПАРТАСАРАТИ Сантана Рагаван (US) КАРТЬЕ Карл (US) СЕРВИНИ Адриан (US) КАТТАК Чандра П. (US)
Патентообладатели:
ДжиТиЭйТи Корпорейшн (US)
Приоритетные данные:
28.04.2006 US 11/413,425
Реферат
Изобретение относится к производству поликремния, а именно к реактору для химического осаждения поликремния из паровой фазы. Технический результат - повышение производительности производства поликремния. Реактор включает опорную систему, снабженную опорами для накальных элементов, и оболочку, прикрепляемую к упомянутой опорной системе с формированием осадительной камеры. Устройство также содержит по меньшей мере один кремниевый накальный элемент, расположенный в камере на опорах, и источник электрического тока, подключаемый к обоим концам накального элемента через электрические вводы, выполненные в опорной системе, для нагревания накального элемента. В опорной системе выполнено устройство для впуска газа, соединяемое с источником кремнийсодержащего газа, и устройство для выпуска газа. При этом накальный элемент выполнен U-образным и имеет по меньшей мере одну трубчатую секцию с наружным диаметром по меньшей мере 20 мм и отношением толщины стенки к наружному диаметру не более чем 1/4. 4 н. и 3 з.п. ф-лы, 6 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента