ГАЛКИН Н.П. и др. Улавливание и переработка фторсодержащих газов. - М.: Атомиздат, 1975, с.77-80. RU 2324648 С2, 20.05.2008. WO 2009042415 А2, 02.04.2009. JP 2004-018331 A, 22.01.2004.
Имя заявителя:
РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ, ОТ ИМЕНИ КОТОРОЙ ВЫСТУПАЕТ ГОСУДАРСТВЕННАЯ КОРПОРАЦИЯ ПО АТОМНОЙ ЭНЕРГИИ "РОСАТОМ" (RU), ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "ВЕДУЩИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ХИМИЧЕСКОЙ ТЕХНОЛОГИИ" (RU)
Изобретатели:
Громов Олег Борисович (RU) Рыбаков Анатолий Георгиевич (RU) Гурдина Екатерина Леонидовна (RU)
Патентообладатели:
РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ, ОТ ИМЕНИ КОТОРОЙ ВЫСТУПАЕТ ГОСУДАРСТВЕННАЯ КОРПОРАЦИЯ ПО АТОМНОЙ ЭНЕРГИИ "РОСАТОМ" (RU) ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "ВЕДУЩИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ХИМИЧЕСКОЙ ТЕХНОЛОГИИ" (RU)
Реферат
Изобретение может быть использовано в производстве поликристаллического кремния. Осуществляют совместную сорбцию тетрафторида кремния и летучих фторидов фосфора на фториде натрия при температуре 200-250°С. Вводят водяной пар при температуре 450-550°С, десорбируют и конденсируют очищенный тетрафторид кремния. Изобретение позволяет получать тетрафторид кремния чистотой до 99,7%. 1 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента