US 2007077191 A1, 05.04.2007. RU 2154606 C2, 20.08.2000. JP 1176211 A, 12.07.1989. EP 0459421 A1, 04.12.1991. US 4097584 A, 27.06.1978. EP 0274283 A1, 13.07.1988.
Имя заявителя:
Кравцов Анатолий Александрович (RU)
Изобретатели:
Кравцов Анатолий Александрович (RU)
Патентообладатели:
Кравцов Анатолий Александрович (RU)
Реферат
Группа изобретений относится к производству кремния, в частности к вакуумной очистке кремния. Способ включает загрузку очищаемого кремния в тигель, расплавление его в тигле с использованием электронно-лучевого нагрева, выдержку расплава в тигле для испарения примесей и их соединений и его охлаждение с получением очищенного кремния. При этом используют тигель из тугоплавкого материала на основе соединения кремния. Тигель размещают в охлаждаемой емкости с теплоизолятором в нижней части. Выдержку расплава кремния для испарения примесей осуществляют при интенсивном отводе тепла от верхней части стенки тигля на уровне поверхности расплава и поддержании кремния в расплавленном состоянии теплом, подводимым электронным лучом, направленным на локальный участок поверхности расплава. Устройство содержит вакуумную камеру, электронно-лучевую пушку, тигель и охлаждаемую емкость с теплоизолятором между ними. На наружной стенке тигля в его верхней части установлен холодильник. Охлаждаемая емкость и холодильник выполнены с водоохлаждаемыми контурами. Устройство может быть снабжено средством для перемешивания расплава. Техническим результатом является повышение скорости расплавления и очистки кремния вакуумным испарением, сокращение времени очистки и снижение энергетических и материальных затрат. 3 н. и 10 з.п. ф-лы, 2 ил., 1 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента