GB 1241108 А, 28.07.1971. SU 1835386 A1, 23.08.1993. US 4409195 A, 11.10.1983. GB 975000 A, 11.11.1964. JP 59-013618 A, 24.01.1984.
Имя заявителя:
МЕМС ЭЛЕКТРОНИК МАТИРИАЛЗ С.П.А. (IT)
Изобретатели:
ГЕТТИ Джанфранко (IT)
Патентообладатели:
МЕМС ЭЛЕКТРОНИК МАТИРИАЛЗ С.П.А. (IT)
Приоритетные данные:
19.11.2004 IT RM2004A000570
Реферат
Изобретение может быть использовано для получения трихлорсилана и/или тетрахлорида кремния для электронной промышленности. Установка включает ректификационную колонну 1, где дифенилтиокарбазон и/или трифенилхлорметан, добавляемые к техническому трихлорсилану и/или техническому тетрахлориду кремния, образуют макромолекулярные комплексные соединения с примесями. Примеси выбраны из группы, включающей бор, трихлорид бора, металлы и их комбинации. В результате ректификации получают первый кубовый остаток и первый головной продукт, который подвергают ректификации в колонне 2 с образованием второго кубового остатка и второго головного продукта, представляющего собой трихлорсилан для электронной промышленности и/или тетрахлорид кремния для электронной промышленности. Установка также может содержать ректификационную колонну 3 для разделения дихлорсилана и трихлорсилана, присутствующих во втором кубовом остатке. Изобретение позволяет эффективно удалять примеси из технического трихлорсилана и/или технического тетрахлорида кремния. 2 н. и 16 з.п. ф-лы, 1 ил., 3 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента