JP 06-127928 А, 10.05.1994. RU 2222649 С2, 27.01.2004. US 6544333 В2, 08.04.2003. WO 2006110481 A3, 19.10.2006.
Имя заявителя:
Общество с ограниченной ответственностью "Группа СТР" (RU)
Изобретатели:
Ловцюс Андрей Альгердович (RU)
Патентообладатели:
Общество с ограниченной ответственностью "Группа СТР" (RU)
Реферат
Изобретение может быть использовано в производстве поликристаллического кремния Сименс-процессом. Газовую смесь на основе хлорсиланов или их смесей подают в, по крайней мере, два связанных единым технологическим циклом реактора, соединенные между собой последовательно системой патрубков. На вход первого реактора подают газовую смесь, предназначенную для работы всех реакторов, осуществляют непрерывное ее прохождение через все последовательно соединенные реакторы и проводят процесс осаждения кремния одновременно во всех последовательно соединенных реакторах. Расход газовой смеси на входе в первый реактор удовлетворяет соотношению где Q - расход газовой смеси на входе в первый реактор; Qi - расход газовой смеси, необходимый для работы одного из последовательно соединенный реакторов в автономном режиме; n - количество последовательно соединенных реакторов. Изобретение позволяет повысить производительность и степень использования кремнийсодержащего газа, снизить энергозатраты. 4 з.п. ф-лы, 6 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента