БАХТИН А.А. и др. Влияние качества сырьевых материалов на производство кремния высокой чистоты. Цветные металлы. - 1992, 1, с.29-32. SU 1602391 A3, 23.10.1990. SU 1333229 A3, 23.08.1987. KZ 16638 A, 15.12.2005. US 4439410 A, 27.03.1984. WO 2007102745 A1, 13.09.2007. JP 03-290311 A, 20.12.1991.
Имя заявителя:
Государственное научное учреждение Всероссийский научно-исследовательский институт электрификации сельского хозяйства Российской академии сельскохозяйственных наук (ГНУ ВИЭСХ) (RU)
Изобретатели:
Заддэ Виталий Викторович (RU) Стенин Василий Васильевич (RU) Стребков Дмитрий Семенович (RU)
Патентообладатели:
Государственное научное учреждение Всероссийский научно-исследовательский институт электрификации сельского хозяйства Российской академии сельскохозяйственных наук (ГНУ ВИЭСХ) (RU)
Реферат
Изобретение может быть использовано для производства кремния полупроводникового качества. Процесс ведут в две стадии в реакторе плазменной печи при температуре выше 1500°С. На первой стадии восстановления в качестве кремнийсодержащего соединения вводят в реактор кварцевую крупку, а в качестве восстановителя вводят смесь моноокиси углерода с водородом, взятых в объемном соотношении 1:1. На второй стадии очистки кремния вводят в реактор химически активные по отношению к примесям газы и вакуумируют объем реактора. В варианте изобретения анод подключают к токопроводящему корпусу реактора и расплавленному кремнию, вводят в реактор кварцевую крупку, а в качестве восстановителя вводят в реактор смесь метана, пропана или ацетилена с кислородом, взятых в объемном соотношении 2:1. Процесс возможно осуществлять на переменном токе с частотой выше 5 кГц. Изобретение позволяет получать высокочистый кремний экологически безопасным способом с низкими потерями и себестоимостью. 3 н.п. ф-лы.
Поиск патентов
Получить полное описание патента