УСТРОЙСТВО И СПОСОБ ТЕРМИЧЕСКОГО РАЗЛОЖЕНИЯ ЛЕТУЧИХ СОЕДИНЕНИЙ ЭЛЕМЕНТА, ВЫБРАННОГО ИЗ ГРУППЫ, ВКЛЮЧАЮЩЕЙ КРЕМНИЙ, ГЕРМАНИЙ, УГЛЕРОД, ТИТАН, ЦИРКОНИЙ И ИХ СМЕСИ
US 4314525 А, 03.03.1980. RU 2207934 C2, 10.07.2003. RU 2153016 C1, 20.07.2000. US 5514350 A, 07.05.1996. H. WIGGERS et. al. Silicon particle formation by pyrolisis of silane in a hot wall gasphase reactor. Chem. Eng. Technol. 24 (2001) 3, p.261-264.
Изобретение может быть использовано для получения пылевидных кремния, германия, углерода, титана, циркония и их смеси, используемых в электронике. Устройство для термического разложения включает сосуд под давлением 1, реакционную трубку 2, открытый конец 2 с которой продолжается в сосуд под давлением 1, а другой конец которой расположен вне его и снабжен средством подачи газа 3. Продольная ось реакционной трубки 2 ориентирована в направлении силы тяжести и параллельна продольной оси 1d сосуда под давлением 1. Реакционная трубка 2 может быть нагрета 2а со стороны впуска газа и охлаждена 2b со стороны выпуска газа. Сосуд под давлением 1 в его нижней части имеет собирающую воронку 1а. Открытый конец 2 с реакционной трубки 2 продолжается в газовое пространство 1b собирающей воронки 1а. Собирающая воронка 1а соединена с выходным затвором 6 для частиц (Р). Узел газоотвода 7 снабжен направляющей для газа 7а. Область 7b впуска газа сообщается с газовым пространством 1b собирающей воронки 1а, фильтрующей системой 8 и газоотводом 9, который расположен вне сосуда под давлением 1. Изобретение позволяет исключить закупоривание трубок реактора и загрязнение целевого продукта. 2 н. и 17 з.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента