На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ | |
Номер публикации патента: 2278075 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C01B033/03 C01B033/035 | Аналоги изобретения: | RU 2136590 C1, 10.09.1999. RU 2122971 C1, 10.12.1998. US 5284640 A, 08.02.1994. US 3091517 A, 28.05.1963. DE 3139705 A, 21.04.1983. |
Имя заявителя: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности "Гиредмет" (RU) | Изобретатели: | Иванов Леонард Степанович (RU) Левин Владимир Григорьевич (RU) Назаркин Денис Владимирович (RU) Елютин Александр Вячеславович (RU) Харченко Вячеслав Александрович (RU) | Патентообладатели: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности "Гиредмет" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к способам получения поликристаллического кремния водородным восстановлением трихлорсилана по замкнутому технологическому циклу с регенерацией тетрахлорида кремния из отходящей газовой фазы гидрированием до получения трихлорсилана. Способ включает приготовление исходной парогазовой смеси в испарителе путем барботажа водорода через слой трихлорсилана при поддержании в испарителе постоянной температуры и давления, компримирование компонентов отходящей из реактора восстановлени
|