|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТАНОВКА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2224715 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C01B033/03 | | Аналоги изобретения: | RU 2136590 C1, 10.09.1999. JP 3215310 А, 20.01.1991. US 6007869 А, 28.12.1999. AU 5675301 А, 22.11.2001. JP 10316413 А, 02.12.1998. |
| Имя заявителя: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Красноярский машиностроительный завод" | | Изобретатели: | Гупалов В.К.
Муравицкий С.А.
Панов П.И.
Петров С.И.
Харченко В.А. | | Патентообладатели: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Красноярский машиностроительный завод" |
Реферат | |
Изобретение относится к устройствам, предназначенным для испарения и получения парогазовых смесей, и может найти применение в технологии полупроводниковых материалов, в частности к получению стержней поликристаллического кремния. Установка для получения поликристаллического кремния содержит реактор 1 водородного восстановления кремния, в котором выращивают стержни 2 поликристаллического кремния, магистраль 3 подачи водорода и магистраль 4 подачи жидкого трихлорсилана, подключенные к соответствующ
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента