|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОСИЛАНА ВЫСОКОЙ ЧИСТОТЫ |  |
Номер публикации патента: 2214362 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C01B033/04 | | Аналоги изобретения: | RU 2129984 С1, 10.05.1999. SU 327781 А, 05.10.1976. GB 1365616 А, 13.08.1974. DT 1767905 А, 14.12.1971. US 4904460 А, 18.10.1989. |
| Имя заявителя: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений" | | Изобретатели: | Белов Е.П.
Ефимов Н.К.
Лебедев Е.Н.
Рябенко Е.А.
Стороженко П.А. | | Патентообладатели: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений" |
Реферат | |
Изобретение относится к способу получения моносилана высокой чистоты и низкой стоимости, пригодного для формирования тонких полупроводниковых и диэлектрических слоев, а также поли- и монокристаллического кремния высокой чистоты различного назначения. Моносилан высокой чистоты получают взаимодействием металлического кремния с метанолом в присутствии катализатора при повышенной температуре.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента