На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
УСТАНОВКА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ СТЕРЖНЕЙ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ | |
Номер публикации патента: 2205905 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C30B028/12 C30B029/06 C01B033/035 | Аналоги изобретения: | RU 2095494 С1, 10.11.1997. ЕР 0324504 А2, 19.07.1989. JP 63074909 А, 05.04.1988. JP 54124896 А, 28.09.1979. US 2002/0014197 А1, 07.02.2002. |
Имя заявителя: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Красноярский машиностроительный завод" | Изобретатели: | Гупалов В.К. Муравицкий С.А. Панов П.И. Петров С.И. Харченко В.А. | Патентообладатели: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Красноярский машиностроительный завод" |
Реферат | |
Изобретение относится к получению полупроводниковых материалов, в частности к получению стержней поликристаллического кремния как исходного сырья для выращивания монокристаллов кремния. Установка для получения стержней поликристаллического кремния содержит разъемный реактор 1, вертикальную стойку 2, контейнер 3, подъемник 4, системы электропитания и подачи компонентов 5.
|