|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СИЛАНА |  |
Номер публикации патента: 2174950 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C01B033/04 | | Аналоги изобретения: | FR 2556708 A1, 21.06.1985. GB 1499137 A, 25.01.1978. GB 1588999 A, 07.05.1981. RU 2151099 С1, 20.06.2000. |
| Имя заявителя: | Общество с ограниченной ответственностью "Ц.Е.С. - Украина" (UA) | | Изобретатели: | Бекетов Борис Анатольевич (KZ)
Жандаев Нурлан Мукатаевич (KZ)
Жирков Александр Борисович (KZ)
Касаткин Ю.А. (RU)
Петрик Адольф Гаврилович (UA)
Свириденко Д.И. (RU)
Турсунов Кубанычбек Джаныбекович (KG)
Шварцман Леонид Яковлевич (UA) | | Патентообладатели: | Общество с ограниченной ответственностью "Ц.Е.С. - Украина" (UA) | | Номер конвенционной заявки: | 2000084848 | | Страна приоритета: | UA |
Реферат | |
Изобретение относится к способу получения силана, применяемого в полупроводниковой промышленности. Сущность изобретения заключается в том, что способ получения силана включает обработку мелкодисперсного кремнийсодержащего вещества разбавленной кислотой и последующую очистку силана, при обработке кремнийсодержащего вещества кислотой дополнительно осуществляют депассивацию поверхности частиц кремнийсодержащего вещества, очистку силана проводят фильтрацией при температуре (-95)-(-110oC), а в качестве кремнийсодержащего вещества используют реакционную массу, полученную сплавлением доменного шлака с алюминием при их массовом соотношении 1:(0,2-0,5) соответственно. Фильтрацию силана осуществляют со скоростью 0,5 - 1,5 см3/c•см2. Технический результат: повышение выхода чистого силана при одновременном повышении технологичности способа. 1 з.п.ф-лы.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента