|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОСИЛАНА ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА КРЕМНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2173297 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C01B033/04 | | Аналоги изобретения: | EP 0105778 A1, 18.04.1984. GB 1592991 A, 15.07.1981. GB 2154569 A, 11.09.1985. US 4041136 A, 09.08.1977. US 4374111 A, 15.02.1983. US 4499063 A, 12.02.1985. FR 2365518 A1, 26.05.1978. FR 2533906 A1, 06.04.1984. АВВАКУМОВ Е.Г. Механические методы активации химических процессов. - Новосибирск, Наука, СО 1986, с.6, 7, 55-56. КАСАТКИН А.Г. Основные процессы и аппараты химической технологии. - М.: ГОСХИМИЗДАТ, 1961, с.763, 784-786, 795. SU 139311 A, 10.07.1961. SU 327781 A, 05.10.1976. |
| Имя заявителя: | Открытое акционерное общество "Новосибирский завод химконцентратов" | | Изобретатели: | Камарзин А.А.
Лаврентьев В.И.
Подойницин С.В.
Бычков С.И.
Мухин В.В.
Муратов Е.П.
Рожков В.В.
Снопков Ю.В. | | Патентообладатели: | Открытое акционерное общество "Новосибирский завод химконцентратов" |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии получения моносилана, который может быть использован при получении особо чистого полупроводникового кремния. Сущность изобретения заключается во взаимодействии тетрахлорида кремния с гидридом лития, поверхность которого подвергают активации вибрирующим транспортером, при этом газовый поток тетрахлорида кремния подают в противоток движению транспортера с гидридом лития и процесс осуществляют при 290-300°С. Способ позволяет повысить выход моносилана при более низкой температуре и сокращенном времени реакции по безотходной технологии взаимодействием тетрахлорида кремния с гидридом лития.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента