

	Главная Патентный отдел Технологии Справочник ГРНТИ Прием Наши координаты Обратная связь

Поиск патентов

Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

Патентный отдел

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ ОКИСЛЕНИЯ КРЕМНИЯ

Номер публикации патента: 2165481

Вид документа:	C1
Страна публикации:	RU
Рег. номер заявки:	99110763/12

Получить полное описание патента

Редакция МПК:	7
Основные коды МПК:	C25B001/00 C01B033/12
Аналоги изобретения:	J. ELECTROCHEM SOC.1964, v.111, N9, p.1042. ЭЛЕКТРОХИМИЯ, 1984, т.20, N4, с.540. GB 1274699 A, 17.05.1972.

Имя заявителя:	Институт физики полупроводников Сибирского отделения РАН,Яковлев Юрий Игоревич,Романов Сергей Иванович
Изобретатели:	Яковлев Ю.И. Романов С.И. Кириенко В.В.
Патентообладатели:	Институт физики полупроводников Сибирского отделения РАН Яковлев Юрий Игоревич Романов Сергей Иванович

Реферат

Изобретение относится к электронной технике преимущественно микро- и наноэлектронике, и может быть использовано в производстве интегральных схем с квантово-размерными гетероэпитаксиальными структурами на изолирующих подложках. Способ окисления кремния основан на анодной поляризации кремния в растворах электролитов.

Вернуться к списку

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь

Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"