|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОСИЛАНА И ДИСИЛАНА |  |
Номер публикации патента: 2160706 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C01B033/04 | | Аналоги изобретения: | JP 60-166216 A, 29.08.1985. US 4610859 A, 09.09.1986. SU 219580 A, 14.06.1968. SU 1754655 A1, 15.08.1992. |
| Имя заявителя: | Всероссийский научно-исследовательский институт химической технологии | | Изобретатели: | Кварацхели Ю.К.
Жирков М.С.
Фадеев Л.Л.
Филинов В.Т. | | Патентообладатели: | Всероссийский научно-исследовательский институт химической технологии |
Реферат | |
Изобретение может быть использовано в производстве поликристаллического кремния, а также полупроводниковых структур методами газовой эпитаксии. Сущность изобретения заключается в том, что моносилан и дисилан получают взаимодействием силицида магния с минеральной кислотой в атмосфере гелия. Полученные продукты очищают от примесей и разделяют.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента