На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СИЛАНОВ | |
Номер публикации патента: 2152902 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C01B033/04 C01B033/08 C01B033/107 | Аналоги изобретения: | GB 1377504 A, 18.12.1974. SU 604498 A, 25.04.1978. SU 612634 A, 25.06.1978. SU 656967 A, 15.04.1979. GB 1499137 A, 25.01.1978. US 4340574 A, 20.07.1982. EP 0285937 A2, 12.10.1988. JP 60215513 A, 28.10.1985. JP 59121110 A, 13.07.1984. |
Имя заявителя: | Товарищество с ограниченной ответственностью фирма "ХОРСТ" | Изобретатели: | Воротынцев В.М. | Патентообладатели: | Товарищество с ограниченной ответственностью фирма "ХОРСТ" |
Реферат | |
Использование: в производстве силанов, применяющихся в качестве исходных продуктов для получения пленок кремния и диоксида кремния в электронной технике. Способ заключается в ректификационном отделении тетрахлорида кремния из реакционной смеси, испарении оставшейся после отгонки тетрахлорида кремния жидкой смеси, нагревании полученной паровой смеси до 60-160°С и направлении ее в реактор диспропорционирования, где происходит контакт смеси с катализатором. Затем из смеси силанов методом парциальной конденсации постадийно выделяют тетрахлорид кремния, дихлорсилан и моносилан, которые являются целевыми товарными продуктами, а смесь тетрахлорида кремния и непрореагировавших хлорсиланов возвращают в ректификационную колонну. В качестве катализатора используют макропористые аниониты, преимущественно с винилпиридиновыми звеньями. Результат изобретения: способ является безотходным, организован в замкнутом цикле и безопасен с точки зрения пожаро- и взрывоопасности. 3 з.п. ф-лы, 1 ил.
|