|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ВЫСОКОЧИСТОГО ТРИХЛОРСИЛАНА И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2142909 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C01B033/107 | | Аналоги изобретения: | US 4309259 A, 05.01.82. SU 120510 A, 16.04.59. SU 558637 A, 15.05.77. SU 504699 A, 28.02.76. SU 833494 A, 30.05.81. SU 988184 A, 07.01.83. DE 3341340 A1, 23.05.85. DE 4108614 A1, 24.09.92. US 4542004 A, 17.09.85. EP 0100266 A1, 08.02.84. RU 94014234 A1, 20.09.95. |
| Имя заявителя: | Институт химии высокочистых веществ РАН | | Изобретатели: | Гусев А.В.
Девятых Г.Г.
Суханов А.Ю.
Дианов Е.М.
Прохоров А.М. | | Патентообладатели: | Институт химии высокочистых веществ РАН |
Реферат | |
Изобретение относится к получению кремнийсодержащих материалов и может быть использовано в производстве хлорсиланов, применяемых в технологии микроэлектроники и высокочистого кремния. Сущность изобретения состоит в том, что в плазмохимическом реакторе возбуждают высокочастотный плазменный разряд, подают в зону разряда реагенты - водород и тетрахлорид кремния, обеспечивают их взаимодействие и из продуктов реакции в качестве целевого продукта выделяют трихлорсилан. Плазменный разряд возбуждают между двумя кремниевыми электродами в виде локализованного сгустка, по существу, сферической формы и реагенты подают в центральную зону сгустка направленным потоком от его периферии к центру. При этом устройство для осуществления способа содержит плазмохимический реактор, оснащенный двумя электродами из высокочистого кремния, расположенными на расстоянии друг от друга, выбранном с учетом формирования между ними плазменного сгустка, по существу, сферической формы, и средством формирования потока реагентов, выполненным в виде по меньшей мере одного кольцеобразного щелевого сопла, расположенного коаксиально электроду, причем наружная стенка сопла образована поверхностью усеченного конуса с вершиной в центре зоны формирования сгустка, а функцию внутренней стенки сопла выполняет наружная поверхность электрода. Устройство содержит также генератор ВЧ колебаний, подключенный к электродам. 2 с. и 6 з.п. ф-лы, 3 ил., 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента