|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ГИДРИДА КРЕМНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2085487 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C01B033/04 | | Аналоги изобретения: | 1. Заявка ФРГ N 3506071, кл. C 01 B 33/04, 1985. 2. Патент ЕПВ N 0083374, кл. C 01 B 33/04, 1983. |
| Имя заявителя: | Государственный научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений | | Изобретатели: | Корнеев Н.Н.
Чернышев Е.А.
Белик Г.И.
Белов Е.П.
Говоров Н.Н.
Каримова Н.Р.
Лебедев Е.Н.
Клещевникова С.И.
Комаленкова Н.Г.
Разоренов Ю.В.
Юшкевич И.А. | | Патентообладатели: | Государственный научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений |
Реферат | |
Изобретение относится к способу получения гидрида кремния, в частности дисилана, который может быть использован как источник кремния при изготовлении полупроводников. Сущность изобретения заключается во взаимодействии гексаэтоксидисилана с алкилалюминийгидридом, которое проводят в присутствии алкоксипроизводного алюминия или алкилалюмоксана в количестве 0,1-10 мас.% от массы исходного алкилалюминийгидрида. В качестве алкоксипроизводного алюминия берут соединение формулы R3-nAl(OR')n, где n = 1, 2, 3; R,R' - одинаковые или разные алкильные группы C2H5, i-C4H9. В качестве алкилалюмоксана берут соединение формулы R4-n(R'O)nAl2O, где R,R' - одинаковые или разные алкильные группы C2H5, i-C4H9, а n = 1, 2, 3, 4. Результатом изобретения является повышение выхода дисилана, исключение использования добавок хлорсодержащих соединений, загрязняющих продукт, уменьшение затрат при утилизации отходов. 2 з.п. ф-лы, 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента