На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КРЕМНИЯ ИЗ ГАЗООБРАЗНОГО ТЕТРАФТОРИДА КРЕМНИЯ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | |
Номер публикации патента: 2066296 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | C01B033/03 | Аналоги изобретения: | Canada J.Phys., v 51, p.1281, 1973. |
Имя заявителя: | Ангарский электролизный химический комбинат | Изобретатели: | Тихомолов Ю.В. Афонин Ю.Г. Шулешко Н.А. Заинчковский С.А. Кошелев С.М. | Патентообладатели: | Ангарский электролизный химический комбинат |
Реферат | |
Изобретение относится к области химии, в частности к восстановлению кремния с применением непрерывного лазерного излучения для стимулирования реакции. Сущность изобретения: газообразный тетрафторид кремния подвергают воздействию лазерного излучения СО2-лазера мощностью 2-10 кВт в реакционной камере под давлением 100-200 мм р.ст. Через коаксиальный патрубок в реакционную камеру одновременно с тетрафторидом кремния подают водород, связывающий фтор и аргон. Кремний осаждают на улавливатель внутри камеры. 2 с.п. ф-лы, 1 ил.
|