|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОСИЛАНА |  |
Номер публикации патента: 2050320 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C01B033/04 | | Аналоги изобретения: | Патент США N 2933374, кл. C 01B 33/04, 1968. |
| Имя заявителя: | Всероссийский научно-исследовательский институт химической технологии | | Изобретатели: | Скороваров Д.И.
Туманов Ю.Н.
Кварацхели Ю.К.
Иванов А.В.
Цирельников К.В.
Андреев К.П.
Вандышев В.И.
Сапожников М.В.
Жирков М.С.
Серегин М.Б. | | Патентообладатели: | Всероссийский научно-исследовательский институт химической технологии |
Реферат | |
Изобретение относится к способам конверсии тетрафторида кремния в моносилан и фторид водорода. Использование: в микроэлектронной промышленности для получения моносилана, как сырье для производства поликристаллического кремния высокой чистоты. Сущность изобретения: смесь тетрафторида кремния и водорода конвертируют во фторсиланы путем возбуждения неконтрагированного сверхвысокочастотного разряда.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента