|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТРИХЛОРСИЛАНА |  |
Номер публикации патента: 2038297 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C01B033/107 | | Аналоги изобретения: | Заявка Японии N 2 -172811, C 01B 33/107, 1990. |
| Имя заявителя: | Институт химии высокочистых веществ РАН,Институт общей физики РАН | | Изобретатели: | Девятых Г.Г.
Прохоров А.М.
Зуева Г.Я.
Воротынцев В.М. | | Патентообладатели: | Институт химии высокочистых веществ РАН
Институт общей физики РАН |
Реферат | |
Изобретение относится к способам получения высокочистого трихлорсилана, применяемого в качестве источника кремния в технологиях микроэлектроники. Сущность изобретения: трихлорсилан получают взаимодействием тетрахлорида кремния с техническим кремнием и хлористым водородом при 380 - 450°С и разделением смеси хлорсиланов на диффузионных мембранах.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента