|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТРИФТОРИДА АЗОТА |  |
Номер публикации патента: 2256605 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C01B021/083 | | Аналоги изобретения: | US 5637285 А, 10.06.1997. RU 2221743 C2, 20.01.2001. RU 2184698 C1, 10.07.2002. RU 2178384 C1, 20.01.2002. US 4091081 A, 23.05.1987. EP 0787684 A2, 29.01.1997. |
| Имя заявителя: | Общество с ограниченной ответственностью "НьюКем" (RU) | | Изобретатели: | Алексеев Ю.И. (RU)
Пашкевич Д.С. (RU)
Мухортов Д.А. (RU)
Петров В.Б. (RU) | | Патентообладатели: | Общество с ограниченной ответственностью "НьюКем" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к неорганической химии, а именно - к получению трифторида азота NF3. Трифторид азота применяется во многих отраслях химической и электронной промышленности, а именно в химической промышленности в качестве фторирующих агентов; в качестве окислителей высококалорийных топлив в ракетной технике; в электронной промышленности: для очистки камер химического и парофазного осаждения, для сухого травления больших интегральных схем и т.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента