На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТРИФТОРИДА АЗОТА | |
Номер публикации патента: 2184698 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C01B021/083 | Аналоги изобретения: | US 3961024 А, 01.06.1976. SU 196734 A, 30.06.1967. JP 3-232710 А, 16.10.1991. US 4543242 А, 24.09.1985. ЕР 0787684 А2, 29.01.1997. |
Имя заявителя: | Закрытое акционерное общество Научно-производственное объединение "ПиМ-Инвест" | Изобретатели: | Игумнов С.М. Харитонов В.П. | Патентообладатели: | Закрытое акционерное общество Научно-производственное объединение "ПиМ-Инвест" |
Реферат | |
Изобретение относится к новому способу получения трифторида азота, который находит широкое применение в технологиях полупроводниковых материалов, высокоэнергетических лазеров и химического газофазного осаждения. Трифторид азота получают фторированием мочевины или продуктов ее разложения элементным фтором в безводном фтористом водороде при температуре от -20 до 0oС и мольном отношении фтора к исходным соединениям не более 3.
|