|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТРИФТОРИДА АЗОТА |  |
Номер публикации патента: 2182556 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C01B021/083 | | Аналоги изобретения: | JP 3-232710, 16.10.1991. US 4543242 A, 24.09.1985. SU 196734 A, 30.06.1967. EP 0787684 A2, 29.01.1997. US 3961024 A, 01.06.1976. US 4091081 A, 23.05.1978. |
| Имя заявителя: | ЗАО "АСТОР-ЭЛЕКТРОНИКС" | | Изобретатели: | Виноградов Д.В.
Зайцев С.А.
Кузнецов А.С.
Львов В.А.
Меньшов В.С.
Рабинович Р.Л.
Сапожников М.В.
Туркин В.С. | | Патентообладатели: | ЗАО "АСТОР-ЭЛЕКТРОНИКС" |
Реферат | |
Изобретение относится к области неорганической химии, а именно к способам получения трифторида азота. Трифторид азота применяется в химической промышленности как фторирующий агент и как окислитель для горючего. В электронной промышленности он используется в процессах сухого травления как газ, не оставляющий осадка; известно его применение и в аппаратах химического парофазного осаждения. Сущность способа: осуществляют фторирование находящейся в твердой фазе соли полифторида аммония формулы NH4F•xHF, где x более 0 до 1,3; причем x может быть равен 1,3, исходную соль применяют в смеси с сорбентом, способным сорбировать фтороводород, образующийся в результате синтеза, при этом сорбент представляет собой фториды металлов формулы MeF, где Me - металл I группы Периодической таблицы, предпочтительно NaF, KF, LiF. Могут использоваться также RbF и CsF, однако их применение экономически нецелесообразно. Процесс получения трифторида азота проводят при 20 - 125oС. Технический результат состоит в упрощении процесса, позволяющего осуществить полное использование исходной соли NH4F•xHF, отводить образующийся фтороводород, одновременно отводя тепло. 4 з.п. ф-лы, 1 табл., 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента