RU 2221739 C1, 20.01.2004. US 3989808 A, 02.11.1976. US 2004028600 A1, 12.02.2004. US 4292287 A, 29.09.1981.
Имя заявителя:
ШОУВА ДЕНКО К.К. (JP)
Изобретатели:
ОКА Масакацу (JP) ФУКУЙО Томойюки (JP) ТОРИСУ Джуничи (JP)
Патентообладатели:
ШОУВА ДЕНКО К.К. (JP)
Приоритетные данные:
24.09.2004 JP 2004-277382
Реферат
Изобретение относится к области получения газообразного фтора, который может быть использован в процессах производства полупроводников или жидких кристаллов. Способ получения газообразного фтора включает стадию генерирования газообразного фтора путем разделения на секции внутреннего пространства оборудованного нагревающими средствами (9) контейнера (10) для генерирования газообразного фтора, заполнения каждой секции фторидом металла с высокой валентностью и нагревания указанного фторида металла. Фторид металла с высокой валентностью выбирают из MnFx (х=3-4), K3NiFy (y=6-7) и CeF4. Разделение на секции внутреннего пространства контейнера для генерирования газообразного фтора осуществляют с помощью проницаемого для газа конструктивного элемента, представляющего собой пористый металл, или с помощью теплопроводящего конструктивного элемента, представляющего собой конструктивный элемент, в котором пористый металл расположен между металлическими перфорированными пластинами. Изобретение позволяет получить газообразный фтор высокой чистоты в промышленном масштабе при сокращении расходов на его получение. 3 н. и 9 з.п. ф-лы, 6 ил., 6 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента