ЖИЖИН Г.Н. НИКИТИН А.К. и др. Поглощение поверхностных плазмонов терагерцового диапазона в структуре "металл - покровный слой - воздух". Оптика и спектроскопия, 2006, т.100, 5, с.798-802. RU 2318192 C1, 27.02.2008. US 2005025676 A1, 03.02.2005. US 2008030738 A1, 07.02.2008. SU 1037065 A1, 23.08.1983. KR 20040094582, A 10.11.2004.
Имя заявителя:
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Российский университет дружбы народов" (РУДН) (RU)
Изобретатели:
Никитин Алексей Константинович (RU) Кирьянов Анатолий Павлович (RU) Жижин Герман Николаевич (RU) Чудинова Галина Константиновна (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Российский университет дружбы народов" (РУДН) (RU)
Реферат
Способ включает нанесение слоя на подложку, способную направлять поверхностную электромагнитную волну (ПЭВ), воздействие зондирующим излучением на подложку, преобразование излучения в ПЭВ, регистрацию изменений ПЭВ в результате пробега ей макроскопического расстояния х, расчет толщины слоя по результатам измерений и значениям оптических постоянных вещества слоя и материала подложки. ПЭВ преобразуют в объемную волну, совмещают пучок зондирующего излучения и объемную волну, регистрируют результирующую интенсивность интерферирующих волн до и после пробега ПЭВ расстояния х и рассчитывают толщину нанослоя с учетом приращения фазы ПЭВ на расстоянии х. Технический результат изобретения заключается в повышении точности определения толщины однородного нанослоя в ИК-излучении. 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента