Учреждение Российской академии наук Институт проблем управления им. В.А. Трапезникова РАН (RU)
Изобретатели:
Касаткин Сергей Иванович (RU) Муравьев Андрей Михайлович (RU) Амеличев Владимир Викторович (RU) Гамарц Илья Андреевич (RU)
Патентообладатели:
Учреждение Российской академии наук Институт проблем управления им. В.А. Трапезникова РАН (RU)
Реферат
Изобретение относится к области магнитных наноэлементов на основе многослойных металлических наноструктур с магниторезистивным эффектом. Техническим результатом является создание магниторезистивной головки-градиометра на основе металлической ферромагнитной наноструктуры с планарным протеканием сенсорного тока, имеющей линейную вольт-эрстедную характеристику и позволяющей измерять локальные магнитные поля на больших площадях, не реагируя на действующее на нее однородное магнитное поле. Магниторезистивная головка-градиометр содержит подложку с диэлектрическим слоем, на котором расположены соединенные в мостовую схему немагнитными низкорезистивными перемычками четыре ряда последовательно соединенных такими же перемычками в каждом плече мостовой схемы тонкопленочных магниторезистивных полосок (полосок), содержащих каждая верхний и нижний защитные слои, между которыми расположена ферромагнитная пленка, первый изолирующий слой поверх полосок, на котором сформирован проводник с рабочими частями, перпендикулярными полоскам, второй изолирующий слой, планарную катушку и защитный слой. Все полоски расположены в один ряд, а ближайший к краю подложки ряд полосок удален от трех остальных рядов на расстояние не менее десяти периодов повторения этих рядов. Во всех полосках ось легкого намагничивания ферромагнитной пленки направлена под углом 45° относительно продольной оси полоски. 3 ил.