На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ВЕРТИКАЛЬНЫЕ СТРУКТУРЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ УСТРОЙСТВ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ НАНОТРУБОК И СПОСОБЫ ИХ ФОРМИРОВАНИЯ | |
Номер публикации патента: 2342315 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | B82B003/00 B82B001/00 | Аналоги изобретения: | US 2003/132461 A1, 17.07.2003. US 2003/178617 A1, 29.09.2003. RU 2173003 C2, 27.08.2001. US 6423583 B1, 23.07.2002. US 5796573 A, 18.08.1998. EP 1361608 A2, 12.11.2003. |
Имя заявителя: | ИНТЕРНЭШНЛ БИЗНЕС МАШИНЗ КОРПОРЕЙШН (US) | Изобретатели: | ФУРУКАВА Тошихару (US) ХЕЙКИ Марк Чарлз (US) ХОЛМС Стивен Джон (US) ХОРАК Дейвид Вацлав (US) КОУБУРГЕР Чарлз Уилльям III (US) | Патентообладатели: | ИНТЕРНЭШНЛ БИЗНЕС МАШИНЗ КОРПОРЕЙШН (US) |
Реферат | |
Изобретение относится к вертикальным структурам полупроводниковых устройств, включающих нанотрубки в качестве конструктивного элемента, и способам изготовления таких структур. Сущность изобретения: предложена вертикальная структура полупроводникового устройства, включающая подложку, образующую в основном горизонтальную плоскость, электрод затвора, выступающий от подложки в вертикальном направлении, полупроводниковые нанотрубки, проходящие в вертикальном направлении через электрод затвора между их
|