Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пензенский государственный университет" (ПГУ) (RU)
Изобретатели:
Белозубов Евгений Михайлович (RU) Белозубова Нина Евгеньевна (RU) Васильев Валерий Анатольевич (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пензенский государственный университет" (ПГУ) (RU)
Реферат
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам, предназначенным для использования в различных областях науки и техники, связанных с измерением давления в условиях воздействия повышенных виброускорений и нестационарных температур. Техническим результатом является уменьшение погрешности датчиков давления с нано- и микроэлектромеханическими системами (НиМЭМС) за счет уменьшения коэффициента термоэдс в местах присоединения контактов колодки с выводными проводниками и проводами, соединяющими контакты колодки с вторичным преобразователем. Датчик давления с виброустойчивой НиМЭМС содержит цилиндрический корпус, установленную в нем НиМЭМС, состоящую из упругого элемента в виде мембраны, на которую нанесена тонкопленочная гетерогенная структура, в которой сформирована тензочувствительная схема с тензорезисторами и контактными площадками, из цилиндрической контактной колодки и из выводных проводников. В контактах колодки выполнены сквозные отверстия. Выводные проводники частично размещены в отверстиях контактной колодки и закреплены на контактах с обеспечением герметичности соединения контактов колодки и выводных проводников. Промежутки между стенками отверстий контактов и выводных проводников по крайней мере частично заполнены высокотемпературным припоем. Контактные площадки тензочувствительной схемы размещены на опорном основании упругого элемента. На торцевой поверхности контактной колодки, обращенной к тензочувствительной схеме, выполнено углубление, размеры которого выполнены по определенным соотношениям. 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента