RU 2391641 C1, 10.06.2010. JP 2008116287 A, 22.05.2008. KR 20030064534 A, 02.08.2003. CN 101586992 A, 25.11.2009. WO 2004113858 A2, 29.12.2004.
Имя заявителя:
Белозубов Евгений Михайлович (RU), Белозубова Нина Евгеньевна (RU), Васильев Валерий Анатольевич (RU), Савинова Юлия Алексеевна (RU)
Изобретатели:
Белозубов Евгений Михайлович (RU) Белозубова Нина Евгеньевна (RU) Васильев Валерий Анатольевич (RU) Савинова Юлия Алексеевна (RU)
Патентообладатели:
Белозубов Евгений Михайлович (RU) Белозубова Нина Евгеньевна (RU) Васильев Валерий Анатольевич (RU) Савинова Юлия Алексеевна (RU)
Реферат
Датчик давления на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы относится к области измерительной техники и предназначен для измерения давления при воздействии нестационарных температур и повышенных виброускорений. Датчик давления на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы (НиМЭМС), содержащий корпус, установленную в нем НиМЭМС, состоящую из упругого элемента - круглой мембраны, жестко заделанной по контуру, сформированной на ней гетерогенной структуры из тонких пленок материалов, в которой образованы тензорезисторы, состоящие из идентичных тензоэлементов, соединенные тонкопленочными перемычками из низкоомного материала и включенные соответственно в противоположные плечи измерительного моста окружные и радиальные тензорезисторы, выполненные в виде соединенных тонкопленочными перемычками одинакового количества имеющих одинаковую форму тензоэлементов, расположенных по окружности на периферии мембраны, выводные проводники, соединяющие тензорезисторы с гермовыводами, отличающийся тем, что характеристики элементов конструкции датчика связаны , ; , ; , ; , ; , ; , ; , ; , ; , ; , ; , ; , ; , ; , связаны соответствующим соотношением. Техническим результатом изобретения является уменьшение погрешности измерения в условиях воздействия нестационарных температур и повышенных виброускорений за счет уменьшения суммарной интегральной термоэдс путем оптимизации соотношений характеристик элементов конструкции. 4 ил.