Белозубов Евгений Михайлович (RU), Васильев Валерий Анатольевич (RU), Чернов Павел Сергеевич (RU)
Изобретатели:
Белозубов Евгений Михайлович (RU) Васильев Валерий Анатольевич (RU) Чернов Павел Сергеевич (RU)
Патентообладатели:
Белозубов Евгений Михайлович (RU) Васильев Валерий Анатольевич (RU) Чернов Павел Сергеевич (RU)
Реферат
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления жидких и газообразных агрессивных сред при воздействии нестационарных температур. Техническим результатом изобретения является повышение точности за счет уменьшения нелинейности измерительной цепи датчика, а также за счет уменьшения разницы расстояний от центра мембраны до тензорезисторов, включенных в противоположные плечи мостовой измерительной схемы. Датчик давления повышенной точности на основе нано- и микроэлектромеханической системы с тонкопленочными тензорезисторами содержит корпус, установленную в корпусе нано- и микроэлектромеханическую систему (НиМЭМС), состоящую из упругого элемента - мембраны с жестким центром, заделанную по контуру в опорном основании, образованной на ней гетерогенной структуры из тонких пленок материалов, в которой сформированы контактные площадки. При этом в гетерогенной структуре сформированы первые радиальные тензорезисторы из идентичных тензоэлементов, расположенных по одной окружности мембраны, и вторые радиальные тензорезисторы из идентичных тензоэлементов, расположенных по второй окружности мембраны, соединенные тонкопленочными перемычками, включенные в измерительный мост. Тензоэлементы первых и вторых радиальных тензорезисторов расположены по окружностям, радиусы которых определены из соответствующих соотношений. 9 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента